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關鍵詞： (62個字符) 科研儀器、 干式真空泵、 真空部件、 薄膜材料制備設備、 納米材料制備設備、 真空冶金設備、 單晶爐、 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司、
描述： (197個字符) 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司座落于遼寧省沈陽市渾南新區新源街1號，公司創立于1958年，多年來，公司專注于高真空、超高真空、潔凈真空技術的研究和發展，是我國集成電路裝備和真空儀器設備的研制、生產基地，先后組建“國家分子束外延技術試驗基地”、“國家多功能電子能譜儀生產基地”、“國家真空儀器裝置工程技術研究中心”和“真空技術裝備國家工程實驗室”等科研平臺。
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