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關(guān)鍵詞： (44個(gè)字符) 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、 微電子、 絕緣體上硅、 航天核心元器件、 微電子機(jī)械系統(tǒng)、
描述： (332個(gè)字符) 上海微系統(tǒng)所在國(guó)內(nèi)率先研制成功球墨鑄鐵，成功解決了包鋼高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收。六十年代中期，發(fā)展微電子和集成電路制造技術(shù)，與工業(yè)部門合作研制出國(guó)內(nèi)第一塊工業(yè)實(shí)用PN結(jié)隔離集成電路、ECL高速電路和國(guó)內(nèi)第一塊8位、16位微處理器。八十年代中期，開展微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）和絕緣體上硅（SOI）材料研究，居國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位，并在國(guó)際上占據(jù)了重要的一席之地。突破了多功能復(fù)合傳感器等關(guān)鍵技術(shù)，確立了特種寬帶無(wú)線傳感網(wǎng)系統(tǒng)解決方案，實(shí)現(xiàn)了在我國(guó)相關(guān)單元的大規(guī)模應(yīng)用和通信體制由窄帶向?qū)拵У募夹g(shù)跨越。研制成功國(guó)內(nèi)第一顆基于SOI材料的0.13um工藝大規(guī)模高可靠專用集成電路ASIC芯片，應(yīng)用于北斗導(dǎo)航衛(wèi)星等國(guó)家關(guān)鍵工程，為我國(guó)航天核心元器件的自主可控奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
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